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Pompes turbomoléculaires

Les pompes turbomoléculaires sont des pompes à vide cinétiques qui fonctionnent à l'aide d'un rotor tournant très rapidement (généralement à une vitesse comprise entre 24 000 et 90 000 tours/minute). Leurs pressions de fonctionnement typiques se situent dans la gamme de l’ultra-vide et UHV, entre 10-3 et 10-11 mbar, avec des vitesses de pompage comprises entre 10 et 4 000 l/s. Elles sont largement utilisées dans les applications scientifiques et industrielles qui nécessitent des environnements sous vide précis et propres, tels que l'analyse de surface, la spectrométrie de masse et le dépôt sous vide. Elles peuvent fonctionner en continu pendant de longues périodes, ce qui les rend idéales pour de nombreuses applications de laboratoire et de production.

Pompes turbomoléculaires